FTIR spectroscopy as an analytical tool for etching investigations of silicon

Guber, A.; Köhler, U.; Bier, W.

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1994
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240033637
HGF-Programm	52.01.13 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Proc.of the 9th Internat.Conf.on Fourier Transform Spectroscopy, Calgary, CDN, August 23-27, 1993 Bellingham, Wash. : SPIE, 1994 (Proceedings / Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers ; 2089)

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