Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1994 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240033647 |
HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | IEEE Instrumentation and Measurement Technology Conf., Orange County, Calif., May 18-20, 1993 Tagungsband |