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Ultrasonic contactless measurement with micromembranes

Liebig, V.; Koehler, B.; Schomburg, W. K.; Sarkar, M. R.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240033647
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk IEEE Instrumentation and Measurement Technology Conf., Orange County, Calif., May 18-20, 1993 Tagungsband
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