Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1993 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240033682 |
HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Proc.of the 1st Internat.Micromechanism Symp., Tokyo, J, June 1-3, 1993 Tokyo : Inst.of Technology, 1993 |