Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1994 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240033851 |
HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Microelectronic Engineering, Maastricht, NL, September 27-29, 1993 (Poster) Microelectronic Engineering, 23(1994) |