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Ultrasonic supported development of irradiated micro structures

El-Kholi, A.; Mohr, J.; Stransky, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240033851
HGF-Programm 41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Microelectronic Engineering, Maastricht, NL, September 27-29, 1993 (Poster) Microelectronic Engineering, 23(1994)
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