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A microspectrometer fabricated by the LIGA process

Mohr, J.; Mueller, C.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1993
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240034085
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 7th Internat.Conf.on Solid State Sensors and Actuators, Transducers '93, Yokohama, J, June 7-10, 1993 Digest of Technical Papers Yokohama : Inst.of Electrical Engineers of Japan, 1993
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