Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1993 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240034085 |
HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | 7th Internat.Conf.on Solid State Sensors and Actuators, Transducers '93, Yokohama, J, June 7-10, 1993 Digest of Technical Papers Yokohama : Inst.of Electrical Engineers of Japan, 1993 |