KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Positioniertes Verkleben von LIGA-Mikrostrukturen am Beispiel einer Mikropumpe

Keller, W.; Maas, D.; Seidel, D.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240034227
HGF-Programm 41.04.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Mikrosysteme fuer Verfahrens- und Fertigungstechnik : 3.Symp.Mikrosystemtechnik, Regensburg, 17.-18.Februar 1993 Regensburg, 1993
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page