KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Entwicklung von Mikrosystemen fuer die Medizin mit dem LIGA-Verfahren

Schomburg, W.K.; Bacher, W.; Fahrenberg, J.; Hein, H.; Menz, W.; Mohr, J.; Mueller, C.; Rapp, R.; Vollmer, J.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240034231
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Qualitaetssicherung in der Reinraumtechnik : Tagung, Stuttgart, 27.-28.September 1993 Duesseldorf : VDI-Verl., 1994 (VDI-Berichte ; 1095)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page