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Fluidische Mikrostrukturen in LIGA-Technik am Beispiel fluidischer Elemente

Vollmer, J.; Hein, H.; Menz, W.; Walter, F.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240034356
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 1.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 23.-24.September 1993 KfK-5238 (September 93)
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