Darstellung einfacher Mikrosysteme durch Kunststoffabformung und Galvanoformung auf integrierten Schaltkreisen

Ruprecht, R.; Bacher, W.; Both, A.; Dinglreiter, H.; Kalb, H.

Seitenaufrufe: 52
seit 26.04.2018

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1993
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 240034358
HGF-Programm	41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	1.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 23.-24.September 1993 KfK-5238 (September 93)