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Darstellung einfacher Mikrosysteme durch Kunststoffabformung und Galvanoformung auf integrierten Schaltkreisen

Ruprecht, R.; Bacher, W.; Both, A.; Dinglreiter, H.; Kalb, H.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240034358
HGF-Programm 41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 1.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 23.-24.September 1993 KfK-5238 (September 93)
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