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Informationstechnische Integration von LIGA-Entwurfs- und Fertigungsumgebung

Scherer, K. P.; Brauch, I.; Eggert, H.; Stiller, P.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240034368
HGF-Programm 41.05.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 1.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 23.-24.September 1993 KfK-5238 (September 93)
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