Ionized cluster beam source characteristics for high-intensity cluster deposition or erosion
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240034944 |
| HGF-Programm | 52.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Yamada, I. [Hrsg.] Advanced Materials '93 : 3rd Internat.Conf.on Laser and Ion Beam Modification of Materials, Tokyo, J, August 31 - September 4, 1993 Elsevier Sci.B.V., 1994 (Transactions of the Materials Research Society of Japan ; 17) |