KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Ionized cluster beam source characteristics for high-intensity cluster deposition or erosion

Gspann, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240034944
HGF-Programm 52.01.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Yamada, I. [Hrsg.] Advanced Materials '93 : 3rd Internat.Conf.on Laser and Ion Beam Modification of Materials, Tokyo, J, August 31 - September 4, 1993 Elsevier Sci.B.V., 1994 (Transactions of the Materials Research Society of Japan ; 17)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page