Micromembrane pump manufactured by molding

Büstgens, B.; Bacher, W.; Bier, W.; Ehnes, R.; Maas, D.; Ruprecht, R.; Schomburg, W. K.; Keydel, L.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1994
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240035113
HGF-Programm	41.06.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Borgmann, H. [Hrsg.] Actuator 94 : 4th Internat.Conf.on New Actuators, Bremen, June 15-17, 1994 Conf. Proc. Bremen : AXON Technologie Consult GmbH, 1994