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Active microvalve system manufactured by LIGA process

Fahrenberg, J.; Maas, D.; Menz, W.; Schomburg, W.K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240035116
HGF-Programm 41.06.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Borgmann, H. [Hrsg.] Actuator 94 : 4th Internat.Conf.on New Actuators, Bremen, June 15-17, 1994 Conf. Proc. Bremen : AXON Technologie Consult GmbH, 1994
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