Active microvalve system manufactured by LIGA process
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240035116 |
| HGF-Programm | 41.06.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Borgmann, H. [Hrsg.] Actuator 94 : 4th Internat.Conf.on New Actuators, Bremen, June 15-17, 1994 Conf. Proc. Bremen : AXON Technologie Consult GmbH, 1994 |