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Ultrasonic measurements with micromembranes

Börner, M.W.; Zur Horst-Meyer, S.; Murphy, M.C.; Münch, H.J.; Schomburg, W.K.; Vitt, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240035118
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Proc.of EUROSENSORS VIII, Toulouse, F, September 25-28, 1994 Sensors and Actuators A, 46-47(1995)
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