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Development and test of an electrostatically driven linear stepping motor

Kalb, H.; Kowanz, B.; Bacher, W.; Mohr, J.; Ruprecht, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240035123
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Reichl, H. [Hrsg.] Microsystem Technologies 94, 4th Internat.Conf.on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Berlin, October 19-21, 1994 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1994
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