Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1994 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 240035355 |
HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Sensoren - Technologie und Anwendung : Vorträge der ITG-Fachtagung, Bad Nauheim, 14.-16.März 1994 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1994 (ITG-Fachberichte ; 126) |