The LIGA-technique and its potential for microsystems
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240035383 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Proc.of the 20th Internat.Conf.on Industrial Electronics, Control and Instrumentation (IECON '94), Bologna, I, September 5-9, 1994 Vol. 3 of 3 |