Influence of secondary effects on the structure quality in deep X-ray lithography
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240035530 |
| HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Proc.of the 1st European Conf.on Synchrotron Radiation in Materials Science, Chester, GB, July 3-8, 1994 Nuclear Instruments and Methods B, 97(1995) |