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Structural and electrical characterization of PVD-deposited SnO₂ films for gas-sensor application

Michel, H.J.; Leiste, H.; Halbritter, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240035692
HGF-Programm 41.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 5th Internat.Meeting on Chemical Sensors, Roma, I, July 11-14, 1994 Sensors and Actuators B, 24-25(1995)
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