FTIR spectroscopy for the analysis of selected exhaust gas flows in silicon technology
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240035730 |
| HGF-Programm | 41.04.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 22nd European Congress on Molecular Spectroscopy, Essen, September 11-16, 1994 Journal of Molecular Structure, 348(1995) |