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FTIR spectroscopy for the analysis of selected exhaust gas flows in silicon technology

Guber, A.; Köhler, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240035730
HGF-Programm 41.04.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 22nd European Congress on Molecular Spectroscopy, Essen, September 11-16, 1994 Journal of Molecular Structure, 348(1995)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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