KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Assembly for Micromechanics and LIGA

Schomburg, W. K.; Maas, D.; Bacher, W.; Büstgens, B.; Fahrenberg, J.; Menz, W.; Seidel, D.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240036153
HGF-Programm 41.04.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Micro Mechanics Europe, Pisa, I, September 5-6, 1994 Conf.Digest S.17-27 Journal of Micromechanics and Microengineering, 5(1995) S.57-63
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page