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Beispiele für Anwendungen der Mikrosystemtechnik in der Optik

Göttert, J.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 240036243
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erscheinungsvermerk IHK-Technologiekongreß Sensortechnik und Mikrosystemtechnik, Villingen-Schwenningen, 6.Oktober 1994 Industrie- und Handelskammer Schwarzwald-Baar-Heuberg, 1994 (Technologiekongress-Vorträge: Sensortechnik und Mikrosystemtechnik ; 9)
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