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High-precision readout circuit for LIGA acceleration sensors

Krömer, O.; Fromhein, O.; Gemmeke, H.; Kühner, T.; Mohr, J.; Strohrmann, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Hauptabteilung Prozessinstrumentierung und Elektronik (HPE)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240036290
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Proc.of EUROSENSORS VIII, Toulouse, F, September 25-28, 1994 Sensors and Actuators A, 46-47(1995)
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