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Materials development for thin film actuators

Quandt, E.; Holleck, H.; Kirchner, S.; Kunisch, C.; Schlegelmilch, J.; Seemann, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240036320
HGF-Programm 41.02.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Reichl, H. [Hrsg.] Microsystem Technologies 94, 4th Internat.Conf.on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Berlin, October 19-21, 1994 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1994
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