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Design of piezoelectric thin films in the system AIN-ZnO

Kunisch, C.; Holleck, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240036527
HGF-Programm 41.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 4th Internat.Conf.on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, September 19-23, 1994 Surface and Coatings Technology, 74-75(1995)
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