Mikroaktoren nach dem LIGA-Verfahren als Basis für Mikrosysteme
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240036785 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | ITG-Informationstagung Neue Anwendungen und Erfahrungen in der Mikrosystemtechnik, Zürich, CH, 21.September 1994 Schweizer Maschinenmarkt, (1994) Nr.48 |