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Mikroaktoren nach dem LIGA-Verfahren als Basis für Mikrosysteme

Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240036785
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk ITG-Informationstagung Neue Anwendungen und Erfahrungen in der Mikrosystemtechnik, Zürich, CH, 21.September 1994 Schweizer Maschinenmarkt, (1994) Nr.48
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