A microvalve system fabricated by thermoplastic molding

Fahrenberg, J.; Bier, W.; Maas, D.; Menz, W.; Ruprecht, R.; Schomburg, W. K.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1995
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240036788
HGF-Programm	41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Micro Mechanics Europe, Pisa, I, September 5-6, 1994 Journal of Micromechanics and Microengineering, 5(1995)