Molding process with high alignment precision for the LIGA technology

Both, A.; Bacher, W.; Heckele, M.; Müller, K. D.; Ruprecht, R.; Strohrmann, M.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1995
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240036977
HGF-Programm	41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	MEMS '95 - Micro Electro Mechanical Systems : an Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Systems, Amsterdam, NL, January 29 - February 2, 1995 Proc. New York, N.Y. [u.a.] : IEEE 1995