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Movable microstructures made by a sub-micron LIGA process

Börner, M.; Kohl, M.; Pantenburg, F.J.; Bacher, W.; Hein, H.; Schomburg, W.K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240036984
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Internat.Solid-State Sensors and Actuators Conf., Transducers '95, Stockholm, S, June 25-29, 1995 High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995 Microsystem Technologies, 2(1996)
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