Cluster beams for metallization of microstructured surfaces
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240036985 |
| HGF-Programm | 52.01.12 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Workshop Materials for Advanced Metallization, Radebeul, March 19-22, 1995 Applied Surface Science, 91(1995) |