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Cluster beams for metallization of microstructured surfaces

Gatz, P.; Hagena, O.F.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240036985
HGF-Programm 52.01.12 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Workshop Materials for Advanced Metallization, Radebeul, March 19-22, 1995 Applied Surface Science, 91(1995)
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