Microtesting system made by the LIGA process to measure the Young's modulus in cantilever microbeams
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240037109 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Alberts, T.E. [Hrsg.] 1995 ASME Internat.Mechanical Engineering Congress and Exposition, San Francisco, Calif., November 12-17, 1995 Proc.of the ASME Dynamic Systems and Control Division Vol. 2 New York, N.Y. : ASME, 1995 (DSC ; 57-2) |