Fabrication of microoptical components and systems by the LIGA-technique
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240037211 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Procedes et Modeles pour la Micro-Optique Passive, Metz, F, 11-12 Avril, 1995 Texte de Communications |