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Fabrication of microoptical components and systems by the LIGA-technique

Göttert, J.; Mohr, J.; Müller, A.; Müller, C.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240037211
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Procedes et Modeles pour la Micro-Optique Passive, Metz, F, 11-12 Avril, 1995 Texte de Communications
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