Manufacturing microlenses by plasmaless isotropic etching combined with plastic molding

Köhler, U.; Guber, A. E.; Bier, W.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1995
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240037361
HGF-Programm	52.01.13 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	8th Internat.Solid-State Sensors and Actuators Conf., Transducers '95 and Eurosensors IX, Stockholm, S, June 25-29, 1995 Late News Contributions