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Microvalves with bistable buckled polymer diaphragms

Goll, C.; Bacher, W.; Büstgens, B.; Maas, D.; Menz, W.; Schomburg, W.K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240037362
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erscheinungsvermerk 8th Internat.Solid-State Sensors and Actuators Conf., Transducers '95 and Eurosensors IX, Stockholm, S, June 25-29, 1995 Late News Contributions, S.59-60 Micro Mechanics Europe, Kopenhagen, DK, September 3-5, 1995 Journal of Micromechanics and Microengineering, 6(1996) S.77-79
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