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LIGA and related technologies for industrial application

Menz, W.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1997
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240037452
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Transducers 95 : Eurosensors 9 ; Proc.of the 8th Internat.Conf. on Solid-State Sensors and Actuators, Stockholm, S, June 25-29, 1995 Sensors and Actuators A, 54(1996)
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