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FT-IR studies accompanying the development of a plasmaless etching process on the basis of the elementary halogens bromine and fluorine

Guber, A.E.; Köhler, U.; Bier, W.



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seit 15.05.2018
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1997
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240037454
HGF-Programm 52.01.13 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Progress in Fourier Transform Spectroscopy : Proc.of the 10th Internat.Conf., Budapest, H, August 28 - September 1, 1995 Mikrochimica Acta, 14(1997) Suppl.
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