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The use of FTIR spectroscopy in microtechnologies

Guber, A. E.

Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1997
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240037455
HGF-Programm 41.04.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Progress in Fourier Transform Spectroscopy : Proc.of the 10th Internat.Conf., Budapest, H, August 28 - September 1, 1995 Mikrochimica Acta, 14(1997) Suppl.

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