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LIGA-made pneumatically driven micro-actuator for use in a micro testing system

Ruther, P.; Bacher, W.; Feit, K.; Heckele, M.; Weindel, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240037474
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Reichl, H. [Hrsg.] Microsystem Technologies 94, 4th Internat.Conf.on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Berlin, October 19-21, 1994 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1994
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