Sub-micron LIGA process for movable microstructures

Börner, M.; Kohl, M.; Pantenburg, F. J.; Bacher, W.; Hein, H.; Schomburg, W. K.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1996
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240037486
HGF-Programm	41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Internat.Conf.on Micro- and Nanoengineering (MNE '95), Aix-en-Provence, F, September 26-28, 1995 Microelectronic Engineering, 39(1996)