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Sub-micron LIGA process for movable microstructures

Börner, M.; Kohl, M.; Pantenburg, F.J.; Bacher, W.; Hein, H.; Schomburg, W.K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240037486
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Internat.Conf.on Micro- and Nanoengineering (MNE '95), Aix-en-Provence, F, September 26-28, 1995 Microelectronic Engineering, 39(1996)
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