KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

High aspect ratio multi-level mold inserts fabricated by mechanical micro machining and deep etch X-ray lithography

Fahrenberg, J.; Schaller, Th.; Bacher, W.; El-Kholi, A.; Schomburg, W.K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240037514
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erscheinungsvermerk High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995 Microsystem Technologies, 2(1996)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page