High aspect ratio multi-level mold inserts fabricated by mechanical micro machining and deep etch X-ray lithography
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240037514 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995 Microsystem Technologies, 2(1996) |