| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) Institut für Radiochemie (IRCH) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240037575 |
| HGF-Programm | 41.07.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 2.Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz, 16.-17.Oktober, 1995 Tagungsbd. Technische Universität Chemnitz-Zwickau, 1995 |