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Online exhaust gas analytics during plasma cleaning of PECVD facilities

Guber, A.E.; Köhler, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240037601
HGF-Programm 41.04.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Sabnis, A.G. [Hrsg.] Process, Equipment, and Materials Control in Integrated Circuit Manufacturing : Proc.of a Conf., Austin, Tex., October 25-26, 1995 Bellingham, Wash. : SPIE, 1995 (SPIE proceedings series ; 2637)
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