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Combination of LIGA with other microstructure technologies

Menz, W.; Bacher, W.; Bier, W.; Hagena, O.F.; Mohr, J.; Seidel, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240037603
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995 Microsystem Technologies, 2(1996)
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