KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Fabrication of stepped microoptical benches for fibre and free space applications

Müller, A.; Göttert, J.; Mohr, J.; Rogner, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240037636
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erscheinungsvermerk High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995 Microsystem Technologies, 2(1996)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page