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Injection molding of LIGA and LIGA-similar microstructures using filled and unfilled thermoplastics

Ruprecht, R.; Bacher, W.; Hausselt, J.; Piotter, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240037750
HGF-Programm 41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Micromachining and Microfabrication Process Technology ; Proc.of a Conf., Austin, Tex., October 23-24, 1995 Bellingham, Wash. : SPIE, 1995 (SPIE Proceedings Series ; 2639)
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