Injection molding of LIGA and LIGA-similar microstructures using filled and unfilled thermoplastics
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240037750 |
| HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Micromachining and Microfabrication Process Technology ; Proc.of a Conf., Austin, Tex., October 23-24, 1995 Bellingham, Wash. : SPIE, 1995 (SPIE Proceedings Series ; 2639) |