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Development of ceramic microstructures

Ritzhaupt-Kleissl, H.J.; Bauer, W.; Günther, E.; Laubersheimer, J.; Hausselt, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240037756
HGF-Programm 41.02.03; LK 01
Erscheinungsvermerk High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995 Microsystem Technologies, 3(1996)
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