Spektroskopische Untersuchung ausgewählter Abgasströme in der Siliziumätztechnik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240037776 |
| HGF-Programm | 41.04.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 11. German SSA Conf., Future Perspectives of the Semiconductor Safety and the Environment Protection, München, 6.November 1995 Proc. München : Semiconductor Safety Association e.V. |