Aufbau- und Verbindungstechniken für die Kleinserienfertigung von Mikropumpen

Seidel, D.; Büstgens, B.; Keller, W.; Maas, D.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1995
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 240038008
HGF-Programm	41.04.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	2.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 28.-29.November 1995 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-5670 (November 95)