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Fabrication of giant magnetostrictive thin film actuators

Quandt, E.; Seemann, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240038214
HGF-Programm 41.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk MEMS '95 - Micro Electro Mechanical Systems : an Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Systems, Amsterdam, NL, January 29 - February 2, 1995 Proc. New York, N.Y. [u.a.] : IEEE 1995
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