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Erfahrungen beim Aufbau und Betrieb einer Kleinserienfertigung für LIGA-Spektrometer

Hagena, O.F.; Bacher, W.; Heckele, M.; Mohr, J.; Moritz, H.; Müller, C.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240038270
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 2.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 28.-29.November 1995 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-5670 (November 95)
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